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平面拋光機對功能陶瓷的超精密加工

發布時間:2021-04-24      點擊次數:52

功能陶瓷主要是指利用材料在電、磁、聲、光、熱等領域的直接或耦合效應,達到一定功能用途的陶瓷。目前,功能陶瓷種類繁多,平面拋光機能陶瓷的超精密加工涉及半導體材料、磁性材料、基片陶瓷、功能玻璃材料、壓電材料等。

 

大部分功能陶瓷是由晶體材料或粉末形成的,這些材料或粉末不能通過類似的金屬鑄件或塑料加工而形成。與普通金屬材料相比,功能陶瓷具有彈性系數高、硬度高、加工變質層小、晶相穩定、耐蝕性好、適用于超精密平面拋光等特點。因此,為了制造高精度、高表面質量的功能陶瓷零件,必須進行超精密加工。

 

然后平面拋光機被以下功能陶瓷超精密加工方法:

 

1、非接觸拋光

 

非接觸拋光是指在拋光過程中,工件與拋光盤不接觸,僅用拋光劑沖擊工件表面,以獲得被加工表面的結晶度和精確形狀的拋光方法。去除量為幾個到幾十個原子級的拋光方法。。

 

2、界面反應拋光

 

當工件與磨料顆粒之間的摩擦界面處于高溫高壓狀態時,很容易在工件表面形成一層非常薄的化合物。該反應物經拋光后容易去除,最終能有效地獲得表面粗糙度低于納米水平的理想表面。它是目前功能陶瓷和器件基板精密加工的主要方法。

 

3、電場和磁場拋光加工

 

電場和磁場拋光是利用和控制電場和磁場的強度,使磨料顆粒在工件上獲得高形狀精度、高表面質量和無晶體畸變表面的一種拋光方法。主要用于精密機械的信息設備和高性能元器件的加工。

 

4、ELID超精密磨削技術

 

使用微細鑄鐵維基金剛石砂輪超精密加工,穩步研磨,實現了硅片的精磨削。各種材料可用于處理單晶硅、光學玻璃鏡片、LED藍寶石基板等。表面粗糙度可以是NM級,可選地研磨和拋光。

 

5、火花磨削

 

陶瓷的低粗糙度磨削是通過熱水合反應實現的

 

6、孔加工技術

 

陶瓷硬脆材料的孔加工技術主要是超聲波加工和激光加工。由于功能陶瓷主要是表面加工,所以在功能陶瓷加工中沒有得到廣泛的應用。

 

超精密表面的拋光技術是移動的制造成本低,加工效率高的發展方向。隨著拋光研究的不斷深入,提高加工質量,會發生拋光的更實用的方法。

 

金嶺機床(傳承長沙二機床廠)創建于1956年,是我國原機械部定點數控車床生產廠家、國 有中一型企業,現為國家高新技術企業、首批百家創新型企業,改制成立于20178(簡稱:金嶺股份) ,專業從事立式加工中心/龍門銑床及智能研磨拋光裝備的國家高新技術企業。

 

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